20世纪40~50年代,发明了半导体器件、晶体二极管和三极管,这些固体电子器件
小而耐用,在小功率低频电子设备中开始替代电子管,继而引发了微电子技术革命,使固体
电子器件在绝大多数应用领域逐渐取代了电真空器件,但这一结果并不是真空技术学科的
终结,相反的是开创了真空技术学科发展的新天地。现代半导体器件、集成电路、电子薄膜
器件、新型平板显示器件等的研制和生产不仅离不开真空镀膜、真空外延等各种真空仪器设
备,还对真空的质量提出了更高的要求,如真空度须达到超高真空并要求无油污染等;另外,
现代科学,如表面科学、粒子加速器、等离子体物理和热核聚变、超纯度材料冶炼、宇宙
空间模拟研究等都需要超高真空和真空技术,这大大促进了真空技术的发展,真空技术
在获得发展的同时,它本身也成为了现代科学技术和产业的基础之一。
